3D線光譜共焦傳感器是用來測(cè)量物體的厚度、平面度、微觀形貌、微小瑕疵、翹曲度等,適用于各種高精密測(cè)量場(chǎng)景,如高反光,鏡面,透明,彎曲,傾斜,漫反射,彩色,粗糙,高對(duì)比度,還可測(cè)量透明涂層的厚度和空隙。SZ-Spec系列線光譜共聚焦3D成像系統(tǒng),主要用于解決3D輪廓精密測(cè)量問題,滿足半導(dǎo)體、3D玻璃、精密點(diǎn)膠、精密零部件等測(cè)量和檢測(cè)需求。