VS-6556最大運動半徑為650mm,最大可搬質(zhì)量5Kg,標準往復時間0.4秒(負載1Kg時),重復定位精度±0.02mm,VS-6577最大運動半徑為850mm,最大可搬質(zhì)量5Kg,標準往復時間0.5秒(負載1Kg時),重復定位精度±0.03mm。全系列均配有無塵室專用及防塵防水式樣。