日本精工研制開發(fā)出“真空清潔N系列薄壁軸承”，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造裝置的真空搬運機器人。N系列薄壁軸承的研制開發(fā)，進一步擴大了特殊應(yīng)用環(huán)境軸承產(chǎn)品系列。
    該產(chǎn)品用于真空搬送機器人的軀體以及手臂關(guān)節(jié)部位，其特點一是通過改良潤滑劑（V－DFO）實現(xiàn)了揮發(fā)氣體比封入高真空潤滑油的商品低三分之一以下、持久性比氟化乙烯樹脂被膜商品提高20倍；二是采用低排氣量、耐高溫樹脂保持架，消除了以前由于金屬保持架磨損所產(chǎn)生的潤滑劑的劣化；三是采用耐久性高的氮化硅滾珠，提高了薄膜潤滑下的耐久性；四是內(nèi)、外輪采用NSK獨自開發(fā)的不銹鋼，和以前相比具有10倍的耐腐蝕性。
    日本精工預(yù)定首先從4點接觸球軸承NBX型（2005年3月末）系列化生產(chǎn)該產(chǎn)品，然后是角接觸球軸承NBA型。生產(chǎn)規(guī)格為內(nèi)徑25mm～210mm，滾溝尺寸4、6、7mm三種。